碳化硅
    碳化硅单晶生长概况

           碳化硅晶体是一种重要的第三代半导体材料,是5G通讯、先进雷达、新能源汽车、轨道交通、大功率输配电等所需的关键核心材料。自上个世纪50年代以来,人们就认识到碳化硅是一种性能优异的半导体材料,但碳化硅晶体生长难度极大,难点包括:在高温下发生分解,传统熔体生长法不适用;生长温度高(2300℃以上),温场不易控制,难以获得单一晶型,容易产生微管缺陷;晶体不能用已有方法扩径;电阻率控制难等。1955年,飞利浦实验室的Lely提出气相法生长碳化硅晶体,因无法避免自发成核,只生长出了毫米级的晶体。1978年,前苏联科学家Tairov等提出了采用籽晶升华法将晶体尺寸扩大到厘米量级,但缺陷密度很高。此后碳化硅晶体生长研究进展缓慢。至上世纪九十年代末,只有美国等少数几个发达国家掌握2英寸晶体生长技术,并开发出性能优异的碳化硅基器件,应用于先进雷达和固态照明等,显示出碳化硅晶体广阔的应用前景,但对我国实施严格的技术封锁和产品禁运。

           面对这一关系国计民生的卡脖子材料,自1999年以来,团队立足自主创新,开展了碳化硅晶体生长基础研究和产业化。发表论文32篇,授权发明专利27项,包括6项国际专利,研制并迭代了四代单晶生长炉,形成了具有完整知识产权的整套技术路线。在无经验可借鉴的情况下,创办了国内第一家碳化硅晶体产业化企业(北京天科合达)。在产业化过程中,提出了不同批次间工艺动态调整的技术方案,保证了产品稳定性和成品率,产品各项技术指标均达国际先进水平,满足了第三代半导体功率器件的需求,制定了碳化硅国家标准3项。向中电科13所、55所、三安光电、中芯集成、东莞天域、普兴电子、日本住友电气、美国SLDLaser等100多家科研机构和企业批量供片,近三年晶片累计销售11.4亿人民币。碳化硅晶体的国产化,满足了国家重大需求,带动了中车、国网、泰科天润等20余家国内企业进入下游器件、封装和模块产业,促使国内形成了完整的碳化硅半导体产业链,带动了我国宽禁带半导体产业的发展。

           相对于PVT法,高温溶液生长(HTSG)法具有生长温度低、晶体扩径和p型掺杂易实现、生长出的晶体缺陷密度低等独特的优势,有望成为量产SiC晶体的主要方法之一。2017年起,陈小龙团队开展了HTSG法生长SiC晶体的研究工作,成功生长出了2-6英寸p型4H-SiC晶体,达到了国际先进水平。并通过调控固液界面能,在国际上率先生长了2-4英寸3C-SiC晶体,制备出了3C-SiC单晶衬底,填补了国际空白,对宽禁带半导体产业发展具有重要意义。

    团队获2020年中科院科技促进发展奖,2015年新疆生产建设兵团科技进步一等奖。陈小龙研究员获2009年中国发明协会发明创业特等奖。