仪器设备
气相法碳化硅长晶炉
液相法碳化硅长晶炉
百级单晶加工区
单线切割机
多线切割机
平面磨床
外圆磨床
研磨抛光机
化学机械抛光机
【自主设计】碳化硅籽晶粘接设备
【自主设计】世界首台超高温接触角测试设备，可测量2500℃、高真空条件下助熔剂的熔点、表面张力、接触角、界面流变参数、粘度、密度等
综合物性测量系统 9T 1.8 K
综合物性测量系统 9T 1.8 K
低温电输运设备
理学变温X射线衍射仪
帕纳科X射线衍射仪
桌面式扫描电镜与能谱分析仪
手套箱集群
手套箱联合系统
样品合成手套箱
双工位手套箱-后处理
有机手套箱
手套箱低温电输运测试系统 4 K
惰性氛围体式显微镜
维材料干法转移系统 （2套）
惰性氛围透射反射式光学显微镜
二维材料干法转移系统
Bonding机
金相显微镜
手套箱联合热蒸镀薄膜沉积设备
计算服务集群
数字源表
超高精度电子天平
等离子体清洗机
原子力显微镜
铁电综合分析仪
热分析仪
霍尔效应测试系统
高压激光打孔设备
高压对顶砧
高压标压系统
通风橱
高温电弧熔炼
磁控溅射
封管设备
十温区真空气氛管式炉
各种规格马弗炉、单晶提拉炉等80余台
理研压机（3台）
分子泵组（5套）