碳化硅
制定国家标准
1. 碳化硅单晶抛光片,GB/T-30656-2014,主要起草人:陈小龙,郑红军,张玮,郭钰,刘春俊,刘振洲,起草单位:北京天科合达蓝光半导体有限公司,中国科学院物理研究所
2. 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法,GB/T-31351-2014,主要起草人:陈小龙,郑红军,张玮,郭钰,刘振洲,起草单位:北京天科合达蓝光半导体有限公司,中国科学院物理研究所
3. 碳化硅单晶片平整度测试方法,GB/T-32278-2015,主要起草人:陈小龙,郑红军,张玮,郭钰,起草单位:北京天科合达蓝光半导体有限公司,中国科学院物理研究所